|
|
| Titel | Microsystems technology Lab&Fab |
| Verantwortlich | Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems, IMS |
| Autor/in |
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme
|
| Medientyp | Print |
| Publikationstyp | Buch |
|
Erschienen
|
2012
Duisburg
|
| Umfang | 23 S. : Ill., graph. Darst., Kt. |
| Raumsystematik |
05112 Duisburg
|
|
| Sachsystematik |
547600 Technik
|
798200 Außeruniversitäre Forschung und Wissenschaft
|
|
| Schlagwörter |
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme
|
Mikrosystemtechnik
|
Laboratorium
|
